Navegando Teses e dissertações por autor "c06a3bf0-1fe9-48f8-a1e3-53e3d8d631a9"
Itens para a visualização no momento 1-1 of 1
-
Construção de reator de plasma frio para aplicações de filmes finos
Pinto, Henrique Moreira (Universidade Federal de São Carlos, UFSCar, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEE, Câmpus São Carlos, 04/03/2022)It is about the construction of a sputtering system, through the use of a cold plasma reactor, for the deposition of metallic thin films. Basically, this system works by ejecting atoms from a material (target) by the ...