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Instrumentação de linha de produção de dispositivos sensores baseados em nanofitas semicondutoras
Pedersoli, André Aleixo (Universidade Federal de São Carlos, UFSCar, , Câmpus São Carlos, 31/03/2023)This work describes the stages of the photolithography process of electronic devices to study their electrical properties. properties developed in a semiconductor physics research laboratory. The optimization and automation ...