dc.contributor.author | Pedersoli, André Aleixo | |
dc.date.accessioned | 2023-04-05T18:29:32Z | |
dc.date.available | 2023-04-05T18:29:32Z | |
dc.date.issued | 2023-03-31 | |
dc.identifier.citation | PEDERSOLI, André Aleixo. Instrumentação de linha de produção de dispositivos sensores baseados em nanofitas semicondutoras. 2023. Trabalho de Conclusão de Curso (Graduação em Engenharia Física) – Universidade Federal de São Carlos, São Carlos, 2023. Disponível em: https://repositorio.ufscar.br/handle/ufscar/17618. | * |
dc.identifier.uri | https://repositorio.ufscar.br/handle/ufscar/17618 | |
dc.description.abstract | This work describes the stages of the photolithography process of electronic devices to study their electrical properties.
properties developed in a semiconductor physics research laboratory. The optimization and automation of a photosensitivity device used in photolithography techniques are described. Automation was done using an Arduino Uno microcontroller and servomotors.
The project was tested with the aim of reducing failures due to operational errors and seeking to improve safety in the production of devices involving ultraviolet radiation. | eng |
dc.description.sponsorship | Não recebi financiamento | por |
dc.language.iso | por | por |
dc.publisher | Universidade Federal de São Carlos | por |
dc.rights | Attribution-NonCommercial-NoDerivs 3.0 Brazil | * |
dc.rights.uri | http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/br/ | * |
dc.subject | Fotolitografia | por |
dc.subject | Arduino | por |
dc.title | Instrumentação de linha de produção de dispositivos sensores baseados em nanofitas semicondutoras | por |
dc.title.alternative | Instrumentation of semiconducting nanobelts sensor devices production line | eng |
dc.type | TCC | por |
dc.contributor.advisor1 | Chiquito, Adenilson José | |
dc.contributor.advisor1Lattes | http://lattes.cnpq.br/7087360072774314 | por |
dc.description.resumo | Esse trabalho apresenta passos do processo de fotolitografia de dispositivos para pesquisa de suas
propriedades elétricas desenvolvidos em um laboratório de pesquisa em física de semicondutores. São
descritos processos de otimização e automação de um equipamento de fotossensibilização utilizado nas
técnicas de fotolitografia. A automação é feita com o uso de um microcontrolador Arduino Uno e motores
de passo. O projeto desenvolvido é testado visando redução de falhas por erros de operação e buscando
maior segurança na síntese de dispositivos envolvendo radiação ultravioleta. | por |
dc.publisher.initials | UFSCar | por |
dc.subject.cnpq | CIENCIAS EXATAS E DA TERRA::FISICA::FISICA DA MATERIA CONDENSADA::ESTRUTURAS ELETRONICAS E PROPRIEDADES ELETRICAS DE SUPERFICIES INTERFACES E PELICULAS | por |
dc.publisher.address | Câmpus São Carlos | por |
dc.contributor.authorlattes | http://lattes.cnpq.br/8464415963213235 | por |
dc.publisher.course | Engenharia Física - EFi | por |