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| estequiometria (1) |
| filmes finos propriedades ópticas (1) |
| optical properties (1) |
| pulverização catódica (1) |
| roughness (1) |
| rugosidade (1) |
| sputtering (1) |
| stoichiometry (1) |
| thin films (1) |
| titanium oxide (1) |
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