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Desenvolvimento de uma ferramenta semi-automática para diagnóstico de plasmas frios aplicados à indústria de semicondutores
(Universidade Federal de São Carlos, UFSCar, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEE, Câmpus São Carlos, 23/06/2023)Technological applications involving plasma processing steps are quite common. With no doubt, the semiconductor industry has a relevant impact on the daily life of contemporary society. The manufacture of integrated circuits ...