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Deposição e caracterização de filmes ultrafinos de óxido de titânio depositados por Sputtering RF
(Universidade Federal de São Carlos, UFSCar, Programa de Pós-Graduação em Ciência dos Materiais - PPGCM-So, , 30/03/2012)This work studied ultrathin films of titanium oxide deposited by the technique r. f. reactive sputtering with different oxygen flows and different deposition times. Optical properties were studied (ultra-violeta/Visível) ...