Browsing Teses e dissertações by Subject "Ion bombardment"

Now showing items 1-1 of 1

    • Construção de reator de plasma frio para aplicações de filmes finos 

      Pinto, Henrique Moreira (Universidade Federal de São Carlos, UFSCar, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEE, Câmpus São Carlos, 04/03/2022)
      It is about the construction of a sputtering system, through the use of a cold plasma reactor, for the deposition of metallic thin films. Basically, this system works by ejecting atoms from a material (target) by the ...