Browsing Teses e dissertações by Subject "Sputtering"
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Construção de reator de plasma frio para aplicações de filmes finos
(Universidade Federal de São Carlos, UFSCar, Programa de Pós-Graduação em Engenharia Elétrica - PPGEE, Câmpus São Carlos, 04/03/2022)It is about the construction of a sputtering system, through the use of a cold plasma reactor, for the deposition of metallic thin films. Basically, this system works by ejecting atoms from a material (target) by the ...