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Deposição e caracterizações óptica e morfológica de filmes finos de TIOX depositados por sputtering R.F.
(Universidade Federal de São Carlos, 2013-02-19)
This work studied ultrathin films of titanium oxide were deposited on two substrates, such as pure Si (100) and glass corning 7059, by using r.f. magnetron sputtering with different oxygen flows and maintaining another ...